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思萊克工業科技專業制造碳化矽襯底

思萊克碳化矽,半導體芯動力

高禁帶寬度

(≤3.2 eV)

高熱導率

(4.9 W/cm·K)

高擊穿電場強

(2~4 MV/cm)

什麽是碳化矽襯底


第三代半導體材料
  • 碳化矽粉料合成

    高純碳化矽粉(純度 99.9999%)與碳源(石油焦或石墨)在高溫催化反應下合成碳化矽粉末,此粉末是晶體生長的原料,其粒度、純度直接影響晶體質量。

  • 碳化矽晶體生長

    高純度碳化矽粉末裝入石墨坩埚,頂部放置籽晶,在2000°C以上高溫,加熱升華。碳化矽粉末升華成氣相物質,在籽晶表面結晶生長出單晶。最後緩慢降溫,得到圓柱形碳化矽晶錠。

  • 碳化矽晶錠加工

    使用X射線衍射确定晶向,标記碳化矽晶錠的切割方位。切除碳化矽晶錠兩端(存在多晶或高缺陷區域)。用金剛石砂輪将碳化矽晶錠外圓磨削至标準直徑。

  • 碳化矽晶圓切片

    用金剛石塗層鋼絲高速切割,将碳化矽晶錠切割成薄片,由于碳化矽的硬度僅次于金剛石,屬于高硬脆性材料,因此切割過程耗時久,易高溫裂片。

  • 碳化矽晶圓加工

    研磨、抛光是将碳化矽晶圓表面加工至原子級光滑平面。陶瓷研磨盤表面鍍上金剛石塗層研磨使表面粗糙度降至μm級。陶瓷抛光盤,配合精密抛光機,獲得納米級光滑表面。

  • 碳化矽襯底清洗檢測

    清洗是爲了去除加工中殘留的顆粒、有機物等及抛光液殘留,确保外延或器件制造的表面質量,清洗後通過形貌、晶體缺陷、電學性能等多維度檢測驗證碳化矽襯底質量。

思萊克工業科技,專注碳化矽襯底研發生産

上海思萊克工業科技有限公司位于上海,總部位于南京。公司經營範圍包括:碳化矽襯底、碳化矽單晶、碳化矽晶圓、碳化矽晶體、碳化矽晶片、碳化矽晶錠、碳化矽籽晶等碳化矽材料。以及碳化矽磨粉機、碳化矽破碎機、氫氧化鈣生産線、晶體生長爐、晶圓清洗劑等碳化矽半導體工藝産品。還涉及高純石墨制品、石墨坩埚、等靜壓石墨、耐磨陶瓷材料、精密陶瓷部件、陶瓷研磨抛光盤、藍寶石晶體、藍寶石晶圓襯底、鎢钼合金等半導體輔助設備、支撐材料的研發、批發、代購代銷。公司專注于6-8英寸碳化矽襯底的研發與産業化,提供高品質的碳化矽襯底、晶體、粉料和加工服務。産品廣泛應用于5G通訊、航空航天、軌道交通、光伏儲能、風力發電、智能電網、人工智能等領域,是國内少數具備國際競争力的第三代半導體設備與材料供應商。

  • 2000+

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新聞資訊
思萊克碳化矽半導體供應商
2025-11-24

思萊克工業科技低阻碳化矽襯底2.0

思萊克低阻碳化矽襯底2.0憑借其突破性的低電阻與晶體質量,爲高性能功率器件構築可靠基石,實現能效與可靠性的雙效提升。

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